住房和城乡建设部关于发布国家标准《特种气体系统工程技术标准》的公告

　　现批准《特种气体系统工程技术标准》为国家标准，编号为GB50646—2020，自2020年10月1日起实施。其中，第3.1.5（1、2）、3.1.6、3.2.5、3.2.6、3.2.7、3.3.7、3.3.8、4.2.1（2、5、6）、4.3.1、4.4.4、4.4.7、5.2.1（1、2、3、4、5）、5.2.3（1、2、3）、5.2.6、5.4.5、6.1.3、6.1.4、6.2.6、7.2.1、7.2.9、9.1.3、9.2.5、9.2.6（1）、9.3.2、9.3.15、9.3.17、10.6.2（7）、10.7.2条（款）为强制性条文，必须严格执行。原国家标准《特种气体系统工程技术规范》(GB50646—2011)同时废止。 

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　中华人民共和国住房和城乡建设部
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　2020年2月27日     

2 术语

2.0.1 特种气体specialty gas电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。

2.0.2 自燃性气体也称作发火气体，是指在空气中等于或低于54℃时可能自燃的易燃气体。

flammable gas2.0.3 易燃性气体一种在20℃和标准压力101.3kPa状态时空气混合有一定易XI燃范围的气体。

2.0.4 剧毒性气体半致死浓度(空气中吸入4h)小于或等于100mL/m³的气体。

2.0.5 毒性气体toxic gas半致死浓度（空气中吸入4h）大于100mL/m³但不超过2500mL/m³的气体。

2.0.6 腐蚀性气体corrosive gas对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体。

oxidizing gas2.0.7 氧化性气体一般通过提供氧气，比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体。

2.0.8 惰性气体inert gas在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体。

2.0.9低蒸汽压力气体low vapor pressure gas

2.0.18 特种气体站

specialty gas station电子工厂放置卧式气瓶、气瓶集装格、ISO）标准集装瓶组、长管拖车、尾气处理装置等气体设备，并通过管道向用生产厂房气设备输送特种气体的独立建(构)筑物。

2.0.19 特种气体站房specialty gas station and room是指在电子工厂特种气体间与特种气体站的统称。

2.0.20硅烷站silane station是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶、钢瓶集装格、卧式钢瓶、长管拖车或ISO)标准集装瓶组、硅烷气化装置、尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的独立建(构)筑物或区域。

2.0.21 气瓶集装格the bundle of gas cylinders用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。

2.0.22 ISO)标准集装瓶组ISO module采用集气管将气体钢瓶、长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并安装在专用金属框架上的组合集装模块。

2.0.23气瓶柜gas cabinet(GC)特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备。

2.0.24气瓶架gas rack(GR)特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。

valve manifold box(VMB)

2.0.25阀门箱特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。

2.0.26 阀门盘 valve manifold panel(VMP)特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。

2.0.27尾气处理装置local scrubber自燃性、易燃性、剧毒性、腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现

11 特种气体系统工程验收

11.1一般规定

11.1.1 特种气体系统验收应包括设备验收、管路系统验收和气体探测(监控)系统验收等。

11.1.2 特种气体系统的验收应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB50184和《工业金属管道工程施工规范》GB 50235 的有关规定。

11.2设备验收

11.2.1 设备验收应按照设备工艺流程图、配置表以及钢瓶容器接口形式、使用压力等级等参数对设备内部的管路流程、各部件的选型和安装等进行检验。

11.2.2 设备验收应检查设备出厂的测试检验报告，设备定位安装后宜对盘面再次进行压力、氦检漏测试。

11.2.3 设备供应商应提供合格的现场设备功能调试报告与操作手册，监控部件的功能、参数设置和联锁、联动作用等应符合设计要求。

11.2.4 安装在防爆区域内的设备，其电器部件应符合相关防爆要求。

11.2.5 尾气处理设备的验收应包括外观检查，工艺流程检验，设备部件功能测试，设备供应商应提供合格的现场设备功能调试报告与操作手册。

11.3管路与系统验收

11.3.1 管路安装完成后应首先进行包括管件的安装位置和方